צילום המסמכים הומצא ע"י עו"ד צ'סטר פ. קרלסון בשנות ה-30 לאחר שנתקל בבעיה בה אמורהיה לצלם מסמכים שהיו ברשותו. לאחר סידרת ניסויים פוטו-חשמליים הוא הצליח לצלם מסמךראשון בשנת 1937. לצערו של קרלסון אף חברה לא היתה מעוניינת בהמצאה שלו ולא יחסו להחשיבות מיוחדת. רק בשנת 1944 מצא חברה קטנה בשם "בטל ממוריאל" שהיתה מוכנה לממן אתפיתוח צילום המסמכים של קרלסון בתמורה לאחוזים עתידיים ברווחים. עם בשנים הפך צילוםהמסמכים לנפוץ יותר ויותר וחברת "בטל ממוריאל" גרפה רווחים גבוהים מהמצאתו שלקרלסון ואף שינתה את שמה לזירוקס אשר הפך במהרה לשם נירדף לצילום מסמכים.
מכונות הצילום הפכו על השנים ליותר ויותר משוכללות והחליפו על המכונות הצילוםהראשונות שיצאו ב1949 אשר היו איטיות ולא יעילות. עם המצאת הטונר הפכו ממוכותהצילום למהירות יותר, איכותיות יותר ומכונות צילום המסמכים הפכו למכשיר של מה בכלבכל חברה.
צילום מסמכים בימנו אנו הוא דבר של מה בכך, זמין וזול לכלל. צילוםהמסמכים נעשה בשחור או בצבע, בהירויות שונות, שינוי גודל מסמך המקור וכל זה תוךשמירה כלפי המקור.
היום חברות רבות נותנות שירותי צילום מסמכים והופכות אותולזמין לכלל. ניתן לצלם מסמך בכל צבע, כל גודל במהירות תוך שמירה על איכות הצילום.
האופן בו מתבצע הצילום עצמו דרך מכונת הצילום הוא כאשר מונח המסמך על לוחהסריקה, נורה אשר סורקת את המסמך, אזורים בהם חזר האור יוצרים מטענים חשמליים אשרמוזנים לתוף. אבקת פחם שמפוזרת על הנייר אשר נכנס לתוף נספגת בו ע"י חום באותםמקומות בהם המטען החשמלי היה שונה לפי צילום מסמך המקור ומוציאה את הדף.
דרךאחרת כשיום שניתן לצלם מסמכים היא ע"י מחשב ביתי פשוט לו מחוברים מדפסת וסורק.הצילום נעשה ע"י סריקת המסמך והפקתו במדפסת. בצורה זו צילום המסמכים נכנס לכל ביתוהפך זמין עוד יותר לכלל האנשים.